[Ben Krasnow] zusammen mit Plasma ein Verfahren zur Reinigung von Seiten gehackt. Sein Setup verwendet eine mechanische Vakuumpumpe, um ein Glockenglas zu evakuieren. Dieses Glockenglas ist mit einer Kupferspule umwickelt, die mit einem HF-Sender verbunden ist. Durch das Übertragen von Rf in die Spule wird Plasma im Glockenglas erzeugt.
Die Plasmareinigung wird in der Halbleiterindustrie intensiv verwendet. Je nachdem das verwendete Gas kann es unterschiedliche Reinigungswirkungen haben. Zum Beispiel ist eine sauerstoffreiche Umgebung sehr effektiv, um organische Bindungen abzubauen und Kohlenwasserstoffe zu entfernen. Es wird nach der manuellen Reinigung verwendet, um sicherzustellen, dass alle Verunreinigungen in den zum Reinigen verwendeten Lösungsmitteln vollständig entfernt werden. Nach [BEN] ist es möglich, eine Oberfläche mit diesem Prozess atomar sauber zu machen, und sogar das Substrat entfernen, wenn der Energiespiegel zu hoch ist.
Diese Maschinen sind typischerweise teuer und spezialisiert, aber [Ben] gelang es, auf seiner Bank eins zu kochen. Schauen Sie sich nach der Pause ein Video-Spaziergang durch [Ben]’s Plasma Cleaner
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